최적의 재질로 반도체 제조 수율 향상하기

스웨즈락 반도체 시장 매니저 Masroor Malik, 총괄 리드 금속공학 엔지니어 Shelly Tang

반도체 산업은 점차적으로 작고 작은 트랜지스터를 사용하여 더욱 혁신적인 칩 개발에 몰두하고 있습니다. 이러한 혁신 요구와 생산량, 수익성을
모두 극대화하기 위한 균형을 잘 맞추기 위해서는 가장 우선적으로 고려해야하는 것이 바로 수율을 최적화하는 것입니다.

먼저, 처리 트랜지스터가 계속 작아짐에 따라 외부 입자에 쉽게 오염이 되어 심각한 문제를 일으킬 수 있습니다. 올바른 유체 시스템 부품을 이용하면
칩 제조 과정에 진입할 때부터 오염도가 적으며, 따라서 생산 진행 중 사용 가능한 칩의 양을 늘릴 수 있습니다.

두 번째로, 반도체 제조 공정이 점점 높은 가동 온도를 요구하는 강력한 공정 가스를 사용하고 있으므로, 부식의 가능성도 커지고 있습니다.
이러한 시스템은 부식된 밸브, 고정 장치 또는 튜브를 교체하는 데 걸리는 다운타임으로 인해 생산이 중단되고
결국 전반적인 수율이 극도로 낮아집니다. 하지만 내식성이 높다면 제조업자는 이러한 다운타임을 예방할 수 있습니다.

스테인리스강 제형에서 크롬, 니켈, 몰리브덴의 많을 경우 자재의 강도와 내성이 모두 높아집니다.
또한 황(S)의 경우 부품 표면의 마감과 용접성을 높여줍니다. 위와 같은 재질의 균형을 맞추어 수율 최적화를 달성할 수 있기 때문에
고성능 합금과 잔여물 함량의 균형이 최적으로 배합된 스테인리스강 형성은 반도체 생산 환경에 매우 중요합니다.

반도체 생산에서는 청결도와 순도가 매우 중요합니다. 아르곤 산소 탈탄(AOD), 진공 유도 용해(VIM), 
진공 아크 재용해(VAR)와 같은 공정을 통해 스테인리스강에 불순물을 최소화한 고순도 자재를 사용하면 청결도를 높일 수 있습니다.

오염도를 줄이고, 내식성은 높이며, 생산 수율을 높이기 위해서, 반도체 제조업자는 응용 분야의 중요성을 이해하고
최선의 기능과 자재 제조에 대한 솔루션을 제공하는 증명된 유체 시스템 부품 공급업체를 물색해야 합니다.

이상적인 공급업체의 조건

스웨즈락은 수십 년간 고성능 부품을 반도체 업체에 제공해 온 경험이 있습니다.
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